GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁-食典通-食品标准免费下载网

发布日期：2022-12-30 实施日期：2023-07-01

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本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。

本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。

ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。

本文件包含以下一般性指南：

——表面目标洁净度等级；

——清洁方法的适用性；

——表面与清洁技术的相容性；

——清洁方法适宜度的评估。

本文件不包含以下事项：

——清洁方法的分类；

——洁净室内生产的产品；

——与特定表面相关的具体清洁方法；

——各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明；

——材料特性的详细说明；

——清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制；

——污染物与表面间的黏附力，以及通常与时间和工艺相关的黏附过程；

——粒子的其他特性，如静电、离子等；

——分子污染物与表面的化学反应；

——表面微生物；

——放射性污染；

——健康、安全；

——环境因素，如：废物处理、排放等；

——统计方法的选用。

注：若需要正式出版文本，请底部扫码咨询客服。

国别:: 中国
英文名称:: Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13:Cleaning ofsurfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle andchemical classifications
中标分类:: C 70
ICS分类:: 13.040.35
发布日期:: 2022-12-30
实施日期:: 2023-07-01
发布部门:: 国家市场监督管理总局&国家标准化管理委员会
发布号:: 国家标准化管理委员会公告（2022年第21号）点此查看此公告发布的标准
官方来源:: 国家标准化管理委员会
起草单位:: 深圳市丽风净化工程有限公司＆吴江市华宇净化设备有限公司＆中电精泰电子工程有限公司＆苏州市计量测试院＆江苏嘉合洁净科技有限公司＆中国电子系统工程第四建设有限公司＆天津大学＆中国电子工程设计院有限公司＆中国电子系统工程第二建设有限公司＆中国标准化协会＆中国建筑科学研究院有限公司＆筑安检验检测中心有限公司＆广东省洁净技术行业协会＆上海市室内环境净化行业协会＆中国合格评定国家认可中心＆北京中邦兴业科技有限公司＆烟台宝源净化有限公司＆深圳市吉隆洁净技术有限公司＆江汉大学＆河南盛川净化工程有限公司＆南京工业大学＆广东量化检测技术有限公司＆安徽同益净化科技有限公司＆深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司