帮助手册GB/T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜现行
标准摘要
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为1nm～10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
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代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Surface chemical analysis-Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
- 中标分类:
- G 04
- ICS分类:
- 分析化学 > 化学分析
- 发布日期:
- 2016-10-13
- 实施日期:
- 2017-09-01
- 发布部门:
- 国家质量监督检验检疫总局＆国家标准化管理委员会
- 发布号:
- 2016年第17号 点此查看此公告发布的标准
- 官方来源:
- 国家标准化管理委员会
- 起草单位:
- 上海市计量测试技术研究院＆华东师范大学＆中国科学院化学研究所
- 本标准无被引用标准
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