帮助手册GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量现行
标准摘要
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射深度可达几微米。
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代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Surface chemical analysis-Depth Profiling-Measurment of sputtered depth
- 中标分类:
- G 04
- ICS分类:
- 分析化学 > 化学分析
- 发布日期:
- 2013-07-19
- 实施日期:
- 2014-03-01
- 发布部门:
- 国家质量监督检验检疫总局＆国家标准化管理委员会
- 发布号:
- 2013年第10号 点此查看此公告发布的标准
- 官方来源:
- 国家标准化管理委员会
- 起草单位:
- 本标准无引用标准
- 本标准无被引用标准
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