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GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法现行

发布日期:2013-12-31 实施日期:2014-08-15

标准摘要

GB/T11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。

本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的浓度范围为0~10000个/mL。

注:若需要正式出版文本,请底部扫码咨询客服。

代替标准

现行标准

修改单

国别:
中国
英文名称:
Test method for particles in electronic grade water by instrument
中标分类:
L 90
ICS分类:
31.030
发布日期:
2013-12-31
实施日期:
2014-08-15
发布部门:
国家质量监督检验检疫总局&国家标准化管理委员会
发布号:
2013年第27号 点此查看此公告发布的标准
官方来源:
国家质量监督检验检疫总局
起草单位:
信息产业部专用材料质量监督检验中心&中国科学院半导体研究所&中国电子技术标准化研究院&中国电子科技集团公司第四十六研究所

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