帮助手册GB/T 11446.1-2013 电子级水现行
标准摘要
GB/T11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。
本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。
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代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Electronic grade water
- 中标分类:
- L 90
- ICS分类:
- 31.030
- 发布日期:
- 2013-12-31
- 实施日期:
- 2014-08-15
- 发布部门:
- 国家质量监督检验检疫总局＆国家标准化管理委员会
- 发布号:
- 2013年第27号 点此查看此公告发布的标准
- 官方来源:
- 国家质量监督检验检疫总局
- 起草单位:
- 信息产业部专用材料质量监督检验中心＆中国科学院半导体研究所＆中国电子技术标准化研究院＆中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 本标准共有 8 项引用标准
- 1. GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则 2. GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法 3. GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 4. GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 5. GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 6. GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法 7. GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法 8. GB/T 11446.10-2013 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法
- 本标准共有 12 项被引用标准
- 1. GB/T 11446.1-1997 电子级水 2. GB/T 11446.1-2013 电子级水 3. GB/T 11446.10-2013 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法 4. GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则 5. GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法 6. GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 7. GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 8. GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 9. GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法 10. GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法 11. GB/T 33087-2016 仪器分析用高纯水规格及试验方法 12. GB/T 33336-2016 高纯工业品三氯氧磷
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